擴(kuò)展量程 mm/inch

540 / 21.26“

分辨力mm/inch .

 0.01 / 0.001 /（ .0001“ / .00005“）

示值誤差* μm

(2.0 + L/300), L in mm

重復(fù)性μm

 2(平面) 3(孔)

垂直度(機(jī)械) μm

正面≤15

電池充滿后可操作時(shí)間h

 14以?xún)?nèi)

測(cè)量力N

1.0 ± 0.2

允許最大空氣濕度%

 65 (non condensed)

最佳工作溫度 / °F

20 ± 1 / 68 ± 1.8

操作溫度 / °F

10 . . . 40 / 50 . . . 104

3點(diǎn)氣浮高度μm

約 9

測(cè)量系統(tǒng)

光柵測(cè)量系統(tǒng)

總高度mm / inch

741 / 29.17“

底座外形尺寸(L x W) mm / inch

240 x 250 / 9.45“ x 9.84“

重量kg / lbs

25 / 55.15

訂貨號(hào)

4429030