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中型超光滑表面疵病數(shù)字化檢測(cè)儀

    本系列產(chǎn)品是目前國(guó)內(nèi)外首創(chuàng)的可對(duì)各種光滑光學(xué)元件和金屬表面疵病實(shí)現(xiàn)快速、自動(dòng)化、微米量級(jí)分辨率檢測(cè)的數(shù)字化設(shè)備，能夠有效解決目視檢測(cè)效率低、準(zhǔn)確性差的難題?？蓱?yīng)用于光學(xué)元件、激光器諧振腔、微光元件、光滑金屬、硅片、液晶屏、手機(jī)外殼、微縮文字等各類元件表面疵病的檢測(cè)?？蓹z測(cè)表面疵病的類型包括各種劃痕、麻點(diǎn)、污漬、破邊等。通過(guò)采用不同行程范圍的掃描裝置，可實(shí)現(xiàn)不同大小樣品的檢測(cè)，被檢元件口徑最大可達(dá)1000mm×600mm或更大。本系統(tǒng)擁有多項(xiàng)國(guó)家發(fā)明專利。

    系列產(chǎn)品主要技術(shù)指標(biāo)：

 1）檢測(cè)樣品最大口徑：（130mm×130mm）～（1000mm×600mm）； 

 2）瑕疵分辨率：優(yōu)于0.5um； 

 3）檢測(cè)的疵病幾何特征：各種劃痕、麻點(diǎn)、破邊等、文字缺損校驗(yàn)；

 4）被檢樣品可水平、垂直放置掃描檢測(cè)； 

 5）軟件及結(jié)果輸出：配備“超光滑表面疵病數(shù)字化評(píng)價(jià)系統(tǒng)”軟件，可輸出包含表面      瑕疵定位、定量信息的電子報(bào)表；

 6）照明及成像系統(tǒng)：特制的無(wú)盲點(diǎn)照明系統(tǒng)配備顯微散射暗場(chǎng)成像技術(shù)；

 7) 評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)：

   ·國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)  ISO10110-7  

   ·美國(guó)軍標(biāo)  MIL-PRF-13830B

   ·同時(shí)可以根據(jù)客戶要求，對(duì)不同的樣品（光學(xué)元件表面、金屬元件表面）瑕疵（劃  痕、麻點(diǎn)、污漬等）的檢出要求進(jìn)行圖像處理軟件的研發(fā)；

 8）評(píng)價(jià)方法：采用獲得國(guó)家發(fā)明專利的定量評(píng)估方法；

 9）對(duì)有特殊潔凈要求的檢測(cè)配備有專業(yè)的凈化臺(tái)；

 10）表面瑕疵質(zhì)量檢測(cè)應(yīng)用范圍：

     130 型（適合于中小口徑檢測(cè)）

     ·各種精密光學(xué)元件、激光器諧振腔表面瑕疵；

     ·金屬元件表面瑕疵；

     ·手機(jī)屏表面瑕疵。

     450 型、1000 型（可用于大口徑檢測(cè)）

     ·大口徑光學(xué)平板表面瑕疵；

     ·大口徑硅片表面瑕疵；

     ·各類液晶屏、顯示屏的表面瑕疵。